由于空压机对空气压缩的同时会把空气中的水分子和油分子压缩成水和油，而且空压机本身工作时也需要有润滑油对其机构进行润滑，也使得有一部分润滑油进入压缩空气。进入压缩空气的水和油会随着压缩空气进入到平衡气缸和气浮块。在三坐标测量机工作时水和油附着在导轨上，使导轨的直线度改变。当三坐标测量机不工作时管道中的油滴可能堵塞气浮块的气孔，使气浮块不能正常浮起，造成气浮块与导轨的摩擦，损坏三坐标测量机并使气管老化。管道中的水还会腐蚀气浮块和平衡气缸。

    虽然三坐标测量机配置有油水分离器或前置过滤器，但是如果进入管道的水和油太多，过滤器就会因饱和而无法过滤，使水和油能够进入三坐标测量机。为此必须采取前置过滤的方法，尽量争取在水和油进入三坐标测量机之前过滤掉。